压力传感器结构及其制作方法[发明专利]

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专利名称：压力传感器结构及其制作方法专利类型：发明专利

发明人：刘斌,范亚明,朱璞成,陈诗伟,刘芹篁,黄蓉申请号：CN201811490882.9申请日：20181206公开号：CN109580077A公开日：20190405

摘要：本发明公开了一种压力传感器结构及其制作方法。所述压力传感器结构采用背压式倒装焊接结构，包括基座、盖帽和压敏组件等，所述压敏组件被封装于基座与盖帽之间的封装区域内，所述基座上设置有导电图形，所述压敏组件的电信号经所述导电图形引出至所述封装区域外部。本发明提供的压力传感器结构的传感精度高，可靠性好，适用于绝大部分非腐蚀性环境。

申请人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所南昌研究院

地址：330000 江西省南昌市汇仁大道266号小蓝创新创业基地15号楼

国籍：CN

代理机构：南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

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