可实时探测的空心阴极离子镀试验装置[实用新型专利]

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专利名称：可实时探测的空心阴极离子镀试验装置专利类型：实用新型专利

发明人：杨嘉嘉,杨文志,陈招燕,程亚丽申请号：CN201620480111.1申请日：20160523公开号：CN205590787U公开日：20160921

摘要：本实用新型公开了可实时探测的空心阴极离子镀试验装置，包括真空机组、主电源、阴极钽管、空心阴极、辅助阴极，所述的真空机组上设有反应气体入口，其特征在于：所述的空心阴极一端与所述的阴极钽管连接，另一端与所述的辅助阴极连接，所述的真空机组上设有水冷铜坩埚，所述的辅助阴极与所述的水冷铜坩埚之间设有偏转聚焦极，所述的水冷铜坩埚一侧设有探测单元。

申请人：中山市万物文化发展有限公司

地址：528400 广东省中山市火炬开发区康乐大道创业大厦146号房

国籍：CN

代理机构：中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：杨连华

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