中国半导体产业发展历史大事记

1947年，美国贝尔实验室发明了半导体点接触式晶体管，从而开创了人类的硅文明时代。 1956年，我国提出“向科学进军”，根据国外发展电子器件的进程，提出了中国也要研究半导体科学，把半导体技术列为国家四大紧急措施之一。中国科学院应用物理所首先举办了半导体器件短期培训班。请回国的半导体专家黄昆、吴锡九、黄敞、林兰英、王守武、成众志等讲授半导体理论、晶体管制造技术和半导体线路。在五所大学――北京大学、复旦大学、吉林大学、厦门大学和南京大学联合在北京大学开办了半导体物理专业，共同培养第一批半导体人才。培养出了第一批著名的教授：北京大学的黄昆、复旦大学的谢希德、吉林大学的高鼎三。

1957年毕业的第一批研究生中有中国科学院院士王阳元（北京大学微电子所所长）、工程院院士许居衍（华晶集团中央研究院院长）和电子工业部总工程师俞忠钰（北方华虹设计公司董事长）。

1957年，北京电子管厂通过还原氧化锗，拉出了锗单晶。中国科学院应用物理研究所和二机部十局第十一所开发锗晶体管。当年，中国相继研制出锗点接触二极管和三极管（即晶体管）。

1958年，美国德州仪器公司和仙童公司各自研制发明了半导体集成电路（IC）之后，发展极为迅猛，从SSI（小规模集成电路）起步，经过MSI（中规模集成电路），发展到LSI（大规模集成电路），然后发展到现在的VLSI（超大规模集成电路）及最近的ULSI（特大规模集成电路），甚至发展到将来的GSI（甚大规模集成电路），届时单片集成电路集成度将超过10亿个元件。

1959年，天津拉制出硅（Si）单晶。

1960年，中科院在北京建立半导体研究所，同年在河北建立工业性专业化研究所――第十三所（河北半导体研究所）。

1962年，天津拉制出砷化镓单晶（GaAs），为研究制备其他化合物半导体打下了基础。 1962年，我国研究制成硅外延工艺，并开始研究采用照相制版，光刻工艺。 1963年，河北省半导体研究所制成硅平面型晶体管。

1964年，河北省半导体研究所研制出硅外延平面型晶体管。

1965年12月，河北半导体研究所召开鉴定会，鉴定了第一批半导体管，并在国内首先鉴定了DTL型（二极管――晶体管逻辑）数字逻辑电路。1966年底，在工厂范围内上海元件五厂鉴定了TTL电路产品。这些小规模双极型数字集成电路主要以与非门为主，还有与非驱动器、与门、或非门、或门、以及与或非电路等。标志着中国已经制成了自己的小规模集成电路。

1968年，组建国营东光电工厂（878厂）、上海无线电十九厂，至1970年建成投产，形成中国IC产业中的“两霸”。

1968年，上海无线电十四厂首家制成PMOS（P型金属－氧化物半导体）电路（MOSIC）。拉开了我国发展MOS电路的序幕，并在七十年代初，永川半导体研究所（现电子第24所）、上无十四厂和北京878厂相继研制成功NMOS电路。之后，又研制成CMOS电路。

七十年代初，IC价高利厚，需求巨大，引起了全国建设IC生产企业的热潮，共有四十多家集成电路工厂建成，四机部所属厂有749厂（永红器材厂）、871（天光集成电路厂）、878（东光电工厂）、4433厂（风光电工厂）和4435厂（韶光电工厂）等。各省市所建厂主要有：上海元件五厂、上无七厂、上无十四厂、上无十九厂、苏州半导体厂、常州半导体厂、北京半导体器件二厂、三厂、五厂、六厂、天津半导体（一）厂、航天部西安691厂等等。

1972年，中国第一块PMOS型LSI电路在四川永川半导体研究所研制成功。

1973年，我国7个单位分别从国外引进单台设备，期望建成七条3英寸工艺线，最后只有北京878厂，航天部陕西骊山771所和贵州都匀4433厂。

1976年11月，中国科学院计算所研制成功1000万次大型电子计算机，所使用的电路为中国科学院109厂（现中科院微电子中心）研制的ECL型（发射极耦合逻辑）电路。

1982年，江苏无锡的江南无线电器材厂（742厂）IC生产线建成验收投产，这是一条从日本东芝公司全面引进彩色和黑白电视机集成电路生产线，不仅拥有部封装，而且有3英寸全新工艺设备的芯片制造线，不但引进了设备和净化厂房及动力设备等“硬件”，而且还引进了制造工艺技术“软件”。这是中国第一次从国外引进集成电路技术。第一期742厂共投资2.7亿元（6600万美元），建设目标是月投10000片3英寸硅片的生产能力，年产2648万块IC成品，产品为双极型消费类线性电路，包括电视机电路和音响电路。到1984年达产，产量达到3000万块，成为中国技术先进、规模最大，具有工业化大生产的专业化工厂。

1982年10月，国务院为了加强全国计算机和大规模集成电路的领导，成立了以万里副总理为组长的“电子计算机和大规模集成电路领导小组”，制定了中国IC发展规划，提出“六五”期间要对半导体工业进行技术改造。

1983年，针对当时多头引进，重复布点的情况，国务院大规模集成电路领导小组提出“治散治乱”，集成电路要“建立南北两个基地和一个点”的发展战略，南方基地主要指上海、江苏和浙江，北方基地主要指北京、天津和沈阳，一个点指西安，主要为航天配套。

1986年，电子部厦门集成电路发展战略研讨会，提出“七五”期间我国集成电路技术“531”发展战略，即普及推广5微米技术，开发3微米技术，进行1微米技术科技攻关。 1988年，871厂绍兴分厂，改名为华越微电子有限公司。 1988年9月，上无十四厂在技术引进项目，建了新厂房的基础上，成立了中外合资公司――上海贝岭微电子制造有限公司。

1988年，在上海元件五厂、上无七厂和上无十九厂联合搞技术引进项目的基础上，组建成中外合资公司――上海飞利浦半导体公司（现在的上海先进）。

1989年2月，机电部在无锡召开“八五”集成电路发展战略研讨会，提出了“加快基地建设，形成规模生产，注重发展专用电路，加强科研和支持条件，振兴集成电路产业”的发展战略。 1989年8月8日，742厂和永川半导体研究所无锡分所合并成立了中国华晶电子集团公司。 1990年10月，国家计委和机电部在北京联合召开了有关领导和专家参加的座谈会，并向党中央进行了汇报，决定实施九O八工程。

1991年，首都钢铁公司和日本NEC公司成立中外合资公司――首钢NEC电子有限公司。 1995年，电子部提出“九五”集成电路发展战略：以市场为导向，以CAD为突破口，产学研用相结合，以我为主，开展国际合作，强化投资，加强重点工程和技术创新能力的建设，促进集成电路产业进入良性循环。

1995年10月，电子部和国家外专局在北京联合召开国内外专家座谈会，献计献策，加速我国集成电路产业发展。11月，电子部向国务院做了专题汇报，确定实施九0九工程。 1997年7月17日，由上海华虹集团与日本NEC公司合资组建的上海华虹NEC电子有限公司组建，总投资为12亿美元，注册资金7亿美元，华虹NEC主要承担“九0九”工程超大规模集成电路芯片生产线项目建设。

1998年1月，华晶与上华合作生产MOS圆片合约签定，有效期四年，华晶芯片生产线开始承接上华公司来料加工业务。

1998年1月18日，“九0八” 主体工程华晶项目通过对外合同验收，这条从朗讯科技公司引进的0.9微米的生产线已经具备了月投6000片6英寸圆片的生产能力。

1998年1月，中国华大集成电路设计中心向国内外用户推出了熊猫2000系统，这是我国自

主开发的一套EDA系统，可以满足亚微米和深亚微米工艺需要，可处理规模达百万门级，支持高层次设计。

1998年2月，韶光与群立在长沙签订LSI合资项目，投资额达2.4亿元，合资建设大规模集成电路（LSI）微封装，将形成封装、测试集成电路5200万块的生产能力。

1998年2月28日，我国第一条8英寸硅单晶抛光片生产线建成投产，这个项目是在北京有色金属研究总院半导体材料国家工程研究中心进行的。

1998年3月16日，北京华虹集成电路设计有限责任公司与日本NEC株式会社在北京长城-饭店举行北京华虹NEC集成电路设计公司合资合同签字仪式，新成立的合资公司其设计能力为每年约200个集成电路品种，并为华虹NEC生产线每年提供8英寸硅片两万片的加工订单。

1998年4月，集成电路“九0八”工程九个产品设计开发中心项目验收授牌，这九个设计中心为信息产业部电子第十五研究所、信息产业部电子第五下四研究所、上海集成电路设计公司、深圳先科设计中心、杭州东方设计中心、广东专用电路设计中心、兵器第二一四研究所、北京机械工业自动化研究所和航天工业771研究所。这些设计中心是与华晶六英寸生产线项目配套建设的。

1998年6月，上海华虹NEC九0九二期工程启动。

1998年6月12日，深港超大规模集成电路项目一期工程――后工序生产线及设计中心在深圳赛意法微电子有限公司正式投产，其集成电路封装测试的年生产能力由原设计的3.18亿块提高到目前的7.3亿块，并将扩展的10亿块的水平。

1998年10月，华越集成电路引进的日本富士通设备和技术的生产线开始验收试制投 片，-该生产线以双极工艺为主、兼顾Bi-CMOS工艺、2微米技术水平、年投5英寸硅片15万片、年产各类集成电路芯片1亿只能力的前道工序生产线及动力配套系统。

1998年3月，由西安交通大学开元集团微电子科技有限公司自行设计开发的我国第一个-CMOS微型彩色摄像芯片开发成功，我国视觉芯片设计开发工作取得的一项可喜的成绩。 1999年2月23日，上海华虹NEC电子有限公司建成试投片，工艺技术档次从计划中的0.5微米提升到了0.35微米，主导产品64M同步动态存储器（S－DRAM）。这条生产线的建-成投产标志着我国从此有了自己的深亚微米超大规模集成电路芯片生产线。 中国半导体产业发展历史

◎分立器件发展阶段（１９５６--１９６５）

１９５６年中国提出“向科学进军”，国家制订了发展各门尖端科学的“十二年科学技术发展远景规划”，明确了目标。根据国外发展电子器件的进程，提出了中国也要研究发展半导体科学，把半导体技术列为国家四大紧急措施之一。从半导体材料开始，自力更生研究半导体器件。为了落实发展半导体规划，中国科学院应用物理所首先举行了半导体器件短期训练班。请回国的半导体专家内昆、吴锡九、黄敞、林兰英、王守武、成众志等讲授半导体理论、晶体管制技术和半导体线路。参加短训班的约１００多人。

当时国家决定由五所大学-北京大学、复旦大学、吉林大学、厦门大学和南京大学联合在北京大学半导体物理专来，共同培养第一批半导体人才。五校中最出名的教授有北京大学的黄昆、复旦大学的谢希德和吉林大学的高鼎三。１９５７年就有一批毕业生，其中有现在成为中国科学院院士的王阳元（北京大学）、工程院院士的许居衍（华晶集团公司）和电子工业部总工程师俞忠钰等人。之后，清华大学等一批工科大学也先后设置了半导体专业。 中国半导体材料从锗（Ｇｅ）开始。通过提炼煤灰制备了锗材料。１９５７年北京电子管厂通过还原氧化锗，拉出了锗单晶。中国科学院应用物理研究所和二机部十局第十一研究所开发锗晶体管。前者由王守武任半导体实验室主任，后者由武尔桢负责。１９５７可国依

靠自己的技术开发，相继研制出锗点接触二极管和三极管（即晶体管）。 为了加强半导体的研究，中国科学院于１９６０年在北京建立了半导体研究所，同年在河北省石家庄建立了工业性专业研究所-第十三研究所，即现在的河北半导体研究所。到六十年代初，中国半导体器件开始在工厂生产。此时，国内搞半导体器件的已有十几个厂点。当时北方以北京电子管厂为代表，生产了ＩＩ－６低频合金管和ＩＩ４０１高频合金扩散管；南方以上海元件五厂为代表。 在锗之后，很快也研究出其他半导体材料。１９５９年天津拉制了硅（Ｓｉ）单晶。 １９６２年又接制了砷化镓（ＧａＡｓ）单晶，后来也研究开发了其他种化合物半导体。 硅器件开始搞的是合金管。１９６２年研究成外延工艺，并开始研究采用照相制版、光刻工艺，河北半导体研究所在１９６３年搞出了硅平面型晶体管，１９６４年搞出了硅外延平面型晶体管。在平面管之前不久，也搞过错和硅的台面扩散管，但一旦平面管研制出来后，绝大部分器件采用平面结构，因为它更适合于批量生产。 当时接制的单晶棒的直径很小，也不规则。一般将硅片切成方片的形状，如７＊７、 １０＊１０、１５＊１５ｍｍ２。后来单晶直径拉大些后，就开始采用不规则的圆片，但直径一般在３５－４０ｍｍ之间。 在半导体器件批量生产之后，六十年代主要用来生产晶体管收音机，电子管收音机在体积上大为缩小，重量大为减轻。一般老百姓把晶体管收音机俗称为“半导体”。它在六十年代成为普通居民所要购买的“四大件”之一。（其他三大件为缝纫机、自行车和手表）另一方面，新品开发主要研究方向是硅高频大功率管，目的是要把部队所用的采用电子管的“八一”电台换装为采用晶体管的“小八一”电台，它曾是河北半导体所和北京电子管厂当年的主攻任务。 除了收讯放大管之外，之后也开发了开关管。中国科学院在半导体所之外建立了一所实验工厂，取名１０９厂。（后改建为微电子中心）它所生产的开关管，供中国科学院计算研究所研制成第二代计算机。随后在北京有线电厂等工厂批量生产了ＤＪＳ－１２１型锗晶体管计算机，速度达到1万次以上。后来还研制出速度更快的１０８机，以及速度达２８万次、容量更大的ＤＪＳ－３２０型中型计算机，该机采用硅开关管。

总之，向科学进军的号如下，中国的知识分子、技术人员在外界封锁的环境下，在海外回国的一批半导体学者带领下，凭藉知识和实验室发展到实验性工厂和生产性工厂，开始建立起自己的半导体行业。这期间苏联曾派过半导体专家来指导，但很快因中苏关系恶化而撤走了。这一发展分立器件的阶段历时十年，与国外差距为十年。 ◎ＩＣ初始发展阶段（１９６５－１９８０年） 在有了硅平面工艺之后，中国半导体界也跟随世界半导体开始研究半导体集成电路，当时称为固体电路。国际上是在１９５８年由美国的得克萨斯仪器公司（ＴＩ）和仙兰公司各自分别发明了半导体集成电路。当初研制的是采用ＲＴＬ（电阻一晶体管逻辑）型式的最基本的门电路，将单个的分立器件：电阻和晶体管，在同一个硅片上集合而成一个电路，故称之为“集成电路”（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｒｒｉｔ，简称ＩＣ）。中国第一块半导体集成电路究竟是由哪一个单位首先研制成功的？这一问题有过争议。在相差不远的时间里，有中国科学院半导体研究所，河北半导体研究所，它在１９６５年１２月份召开的产品鉴定会上鉴定了一批半导体管，并在国内首先鉴定了ＤＴＬ型（二极管-晶体管逻辑）数字逻辑电路。这是十室提交鉴定的，当时采用的还不是国外普遍使用的P-N结隔离，而是仅在国外文献中有所报导的Ｓｉｏ２介质隔离，通过反外延方法制备基片。 在研究单位之后，工厂在生产平面管的基础上也开始研制集成电路。北方为北京电子管厂，也采用介质隔离研制成ＤＴＬ数字电路，南方为上海元件五厂，在华东计算机所的合作下，研制出采用Ｐ－Ｎ结隔离的ＴＴＬ型（晶体管-晶体管逻辑）数字电路，并在１９６６年底，在工厂范围内首家召开了产品鉴定会鉴定了TTL电路。

ＤＴＬ和ＴＴＬ都是双极型数字集成电路，主要是逻辑计算电路，以基本的与非门为基础，当时都是小规模集成电路，还有与非驱动器、与门、或非门、或门、以及与或非电路等。主要用途是用于电子计算机。中国第一台第三代计算机是由位于北京的华北计算技术研究所研制成功的，采用ＤＴＬ型数字电路，与非门是由北京电子管厂生产，与非驱动器是由河北半导体研究所生产，展出年代是１９６８年。 为了加速发展半导体集成电路，四机部（后来改名为电子工业部）决定筹建第一个专门从事半导体集成电路的专业化工厂，由北京电子管厂抽一部分技术力量，在１９６８年建立了国营东光电工厂（代号：８７８厂），当时正处于动乱的十年“文革”初期，国家领导号召建设大三线，四机部新建工厂，采用“８”字头的都是在内地大三线，唯独８７８厂，为了加快建成专业化集成电路生产厂，破例地建在首都北京。与此同时，上海仪表局也将上海元件五厂生产ＴＴＬ数字电路的五车间搬迁到近郊，建设了上海无线电十九厂（简称上无十九厂）。到１９７０年两厂均已建成投产。从此，七十年代形成了中国ＩＣ行业的“两霸”，南霸上无十九厂，北霸８７８厂。在国外实行对华封锁的年代里，集成电路属于高新技术产品，是禁止向中国出口的。因此，在封闭的自力更生、计划经济年代里，这两厂的ＩＣ一度成为每年召开两次电子元器件订货会上最走俏的产品。当时一块Ｊ－Ｋ触发器要想马上拿到手，得要部长的亲笔批条。在中国实行改革开放政策之前，ＩＣ在中国完全是卖方市场。七十年代上半期，一个工厂的ＩＣ年产量，只有几十万块，到七十年代末期，上无十九厂年产量才实破５００万块，位居全国第一。 文化大革命开始后，陈伯达向毛泽东主席提出了“电子中心论”。一时间采用群众运动的方式“全民”大搞半导体．为了打破尖端迷信，报上宣传说城市里了道老太太在弄堂里拉一台扩散炉，也能做出半导体．批判８７８厂建厂时铺了水磨石地板为“大，洋，全”。这股风使工厂里不重视产品质量，这曾导致８７８厂为北京大学电子仪器厂生产ＴＴＬ和 Ｓ－ＴＴＬ（肖特基二极管钳位的ＴＴＬ）电路研制百万次大型电子计算机“推倒重来”。最后质量改进后的电路才使北大在１９７５年研制成中国第一台真正达到１００万次运算速度的大型电子计算机－１５０机。（在此之前，由上无十九厂生产的ＴＴＬ电路，供华东计算所研制出达到８０多万次速度的大型计算机，号称“百万次”。） 随后，中国科学院１０９厂研制了ＥＣＬ型(发射极藕合逻辑)电路，提供给中国科学院计算所，在１９７６年１１月研制成功１０００万次大型电子计算机。

总之，在中国ＩＣ初始发展阶段的十五年间，在开发集成电路方面，尽管国外实行对华封锁，中国还是能够依靠自己的技术力量，相继研制并生产了ＤＴＬ、ＴＴＬ、 ＥＣＬ各种类型的双极型数字逻辑电路，支持了国内计算机行业，研制成百万次、千万次级的大型电子计算机。但这都是小规模集成电路。

在发展双极型电路（Ｂｉｐｏｌａｒ ＩＣ）之后，不久也开始研究ＭＯＳ（金属--氧化物一一半导体）电路（ＭＯＳ ＩＣ）。 １９６８年研究出ＰＭＯＳ电路，这是上海无线电十四厂首家搞成的。到七十年代初期，永川半导体研究所，即２４所，（它由石家庄１３所十一室搬到四川水川扩大而建的）上无十四厂和北京８７８厂相继研制成ＮＭＯＳ电路。之后，又研制成ＣＭＯＳ电路。 在七十年代初期，由于受国外ＩＣ迅速发展和国内“电子中心论”的影响，加上当时ＩＣ的价格偏高（一块与非门电路不变价曾哀达５００元，利润较大ｆ销售利润率有的厂高达４０％以上），而货源又很紧张，因而造成各地ＩＣ厂点大量涌现，曾经形成过一股“ＩＣ热”。不少省市自治区，以及其他一些工业部门都兴建了自己的ＩＣ工厂，造成--哄而起的局面。 在这期间，全国建设了四十多家集成电路工厂。四机部直属厂有７４９厂（永红器材厂）、 ８７１厂（天光集成电路厂）、 ８７８厂（东光电工厂）、 ４４３３厂（风光电工厂）和４４３５厂（韶光电工厂）等。各省市所建厂中有名的有：上海元件五厂、上无七厂、上无十四厂、上无十九厂、苏州半导体厂、常州半导体厂、北京市半导体器件二厂、三厂、五厂、六厂、天津半导体（一）厂、航天部西安６９１厂等

等。 集成电路一经出现，随着设备和工艺的不断发展，集成度迅速提高。从小规模集成 （ＳＳＩ），经过中规模集成（ＭＳＬ），很快发展到大规模集成（ＬＳＩ），这在美国用８年时间。而中国在初始发展阶段中出仅用７年时间走完这段路，与国外差距还不是很大。

１９７２年中国第一块ＰＭＯＳ型ＬＳＴ电路在四川永川半导体研究所研制成功，为了加速发展ＬＳＩ，中国接连召开了三次全国性会议，第一次１９７４年在北京召开，第二次 １９７５年在上海召开；第三次１９７７年在大三线贵州省召开。 为了提高工艺设备的技术水平，并了解国外ＩＣ发展的状况，在１９７３年中日邦交恢复一周年之际，中国组织了由１４人参加的电子工业考察团赴日本考察ＩＣ产业，参观了日本当时八大ＩＣ公司：日立、ＮＥＣ、东芝、三菱、富士通、三洋、冲电气和夏普，以及不少设备制造厂。原先想与ＮＥＣ谈成全线引进，因政治和资金原因没有成匀丢失了一次机迂。后来改为由七个单位从国外购买单位台设备，期望建成七条工艺线。最后成线的只有北京８７８厂，航天部陕西骊山７７１所和贵州都匀４４３３厂。 这一阶段１５年，从研制小规模到大规模电路，在技术上中国都依靠自己的力量，只是从国外进口了一些水平较低的工艺设备，与国外差距逐渐加大。在这期间美国和日本已先后进入ＩＣ规模生产的阶段。

[下一页] 前言

自從有人類以來，已經過了上百萬年的歲月。社會的進步可以用當時人類使用的器物來代表，從遠古的石器時代、到銅器，再進步到鐵器時代。現今，以矽為原料的電子元件產值，則超過了以鋼為原料的產值，人類的歷史因而正式進入了一個新的時代，也就是矽的時代。矽所代表的正是半導體元件，包括記憶元件、微處理機、邏輯元件、光電元件與偵測器等等在內，舉凡電視、電話、電腦、電冰箱、汽車，這些半導體元件無時無刻都在為我們服務。

矽是地殼中最常見的元素，許多石頭的主要成分都是二氧化矽，然而，經過數百道製程做出的積體電路，其價值可達上萬美金；把石頭變成矽晶片的過程是一項點石成金的成就，也是近代科學的奇蹟！

在日本，有人把半導體比喻為工業社會的稻米，是近代社會一日不可或缺的。在國防上，惟有紮實的電子工業基礎，才有強大的國防能力，1991年的波斯灣戰爭中，美國已經把新一代電子武器發揮得淋漓盡致。從1970年代以來，美國與日本間發生多次貿易摩擦，但最後在許多項目美國都妥協了，但是為了半導體，雙方均不肯輕易讓步，最後兩國政府慎重其事地簽訂了協議，足證對此事的重視程度，這是因為半導體工業發展的成敗，關係著國家的命脈，不可不慎。在台灣，半導體工業是新竹科學園區的主要支柱，半導體公司也是最賺錢的企業，台灣如果要成為明日的科技矽島，半導體工業是我們必經的途徑。 半导体的起源

在二十世紀的近代科學，特別是量子力學發展知道金屬材料擁有良好的導電與導熱特性，而陶瓷材料則否，性質出來之前，人們對於四周物體的認識仍然屬於較為巨觀的瞭解，那時已經介於這兩者之間的，就是半導體材料。

英國科學家法拉第(Michael Faraday， 1791~1867)，在電磁學方面擁有許多貢獻，但較不為人所知的，則是他在1833年發現的其中一種半導體材料：硫化銀，因為它的電阻隨著溫度上升而降低，當時只覺得這件事有些奇特，並沒有激起太大的火花；然而，今天我們已經知道，隨著溫度的提升，晶格震動越厲害，使得電阻增加，但對半導體而言，溫度上升使自由

載子的濃度增加，反而有助於導電，這也是半導體一個非常重要的物理性質。

1874年，德國的布勞恩(Ferdinand Braun，1850~1918)，注意到硫化物的電導率與所加電壓的方向有關，這就是半導體的整流作用。但直到1906年，美國電機發明家匹卡(G. W. Pickard，1877~1956)，才發明了第一個固態電子元件：無線電波偵測器(cat’s whisker)，它使用金屬與矽或硫化鉛相接觸所產生的整流功能，來偵測無線電波。在整流理論方面，德國的蕭特基(Walter Schottky，1886~1976)在1939年，於「德國物理學報」發表了一篇有關整流理論的重要論文，做了許多推論，他認為金屬與半導體間有能障(potential barrier)的存在，其主要貢獻就在於精確計算出這個能障的形狀與寬度。至於現在為大家所接受的整流理論，則是1942年，由索末菲(Arnold Sommerfeld， 1868~1951)的學生貝特(Hans Bethe，1906~)所發展出來，他提出的就是熱電子發射理論(thermionic emission)，這些具有較高能量的電子，可越過能障到達另一邊，其理論也與實驗結果較為符合。

在半導體領域中，與整流理論同等重要的，就是能帶理論。布洛赫(Felix Bloch，1905~1983)在這方面做出了重要的貢獻，其定理是將電子波函數加上了週期性的項，首開能帶理論的先河。另一方面，德國人佩爾斯(Rudolf Peierls， 1907~) 於1929年，則指出一個幾乎完全填滿的能帶，其電特性可以用一些帶正電的電荷來解釋，這就是電洞概念的濫觴；他後來提出的微擾理論，解釋了能隙(Energy gap)存在。 电晶体的发明

早在1930與1940年代，使用半導體製作固態放大器的想法就持續不絕；第一個有實驗結果的放大器是1938年，由波歐(Robert Pohl， 1884~1976)與赫希(Rudolf Hilsch)所做的，使用的是溴化鉀晶體與鎢絲做成的閘極，儘管其操作頻率只有一赫茲，並無實際用途，卻證明了類似真空管的固態三端子元件的實用性。

二次大戰後，美國的貝爾實驗室(Bell Lab)，決定要進行一個半導體方面的計畫，目標自然是想做出固態放大器，它們在1945年7月，成立了固態物理的研究部門，經理正是蕭克萊(William Shockley， 1910~1989)與摩根(Stanley Morgan)。由於使用場效應(field effect)來改變電導的許多實驗都失敗了，巴丁(John Bardeen，1908~1991)推定是因為半導體具有表面態(surface state)的關係，為了避開表面態的問題，1947年11月17日，巴丁與布萊登(Walter Brattain 1902~1987)在矽表面滴上水滴，用塗了蠟的鎢絲與矽接觸，再加上一伏特的電壓，發現流經接點的電流增加了！但若想得到足夠的功率放大，相鄰兩接觸點的距離要接近到千分之二英吋以下。12月16日，布萊登用一塊三角形塑膠，在塑膠角上貼上金箔，然後用刀片切開一條細縫，形成了兩個距離很近的電極，其中，加正電壓的稱為射極 (emitter)，負電壓的稱為集極 (collector)，塑膠下方接觸的鍺晶體就是基極 (base)，構成第一個點接觸電晶體 (point contact transistor)，1947年12月23日，他們更進一步使用點接觸電晶體製作出一個語音放大器，該日因而成為電晶體正式發明的重大日子。

另一方面，就在點接觸電晶體發明整整一個月後，蕭克萊想到使用p-n接面來製作接面電晶體 (junction transistor) 的方法，在蕭克萊的構想中，使用半導體兩邊的n型層來取代點接觸電晶體的金屬針，藉由調節中間p型層的電壓，就能調控電子或電洞的流動，這是一種進步很多的電晶體，也稱為雙極型電晶體 (bipolar transistor)，但以當時的技術，還無法實際製作出來。

電晶體的確是由於科學發明而創造出來的一個新元件，但是工業界在1950年代為了生產電晶體，卻碰到許多困難。1951年，西方電器公司（Western Electric）開始生產商用的鍺接點電晶體，1952年4月，西方電器、雷神(Raytheon)、美國無線電(RCA) 與奇異(GE)等公司，則生產出商用的雙極型電晶體。但直到1954年5月，第一顆以矽做成的電晶體才由美國德州儀器公司(Texas Instruments)開發成功；約在同時，利用氣體擴散來把雜質摻入半導體的技術也由貝爾實驗室與奇異公司研發出來；在1957年底，各界已製造出六百種以上不同形式

的電晶體，使用於包括無線電、收音機、電子計算機甚至助聽器等等電子產品。

早期製造出來的電晶體均屬於高台式的結構。1958年，快捷半導體公司 (Fairchild Semiconductor)發展出平面工藝技術(planar technology)，藉著氧化、黃光微影、蝕刻、金屬蒸鍍等技巧，可以很容易地在矽晶片的同一面製作半導體元件。1960年，磊晶(epitaxy)技術也由貝爾實驗室發展出來了。至此，半導體工業獲得了可以批次(batch)生產的能力，終於站穩腳步，開始快速成長。 积体电路

積體電路就是把許多分立元件製作在同一個半導體晶片上所形成的電路，早在1952年，英國的杜默 (Geoffrey W. A. Dummer) 就提出積體電路的構想。1958年9月12日，德州儀器公司(Texas Instruments)的基爾比 (Jack Kilby， 1923~)，細心地切了一塊鍺作為電阻，再用一塊pn接面做為電容，製造出一個震盪器的電路，並在1964年獲得專利，首度證明了可以在同一塊半導體晶片上能包含不同的元件。1964年，快捷半導體(Fairchild Semiconductor)的諾宜斯(Robert Noyce，1927~1990)，則使用平面工藝方法，即藉著蒸鍍金屬、微影、蝕刻等方式，解決了積體電路中，不同元件間導線連結的問題。

積體電路的第一個商品是助聽器，發表於1963年12月，當時用的仍是雙極型電晶體；1970年，通用微電子(General Microelectronics)與通用儀器公司 (General Instruments)，解決了矽與二氧化矽界面間大量表面態的問題，開發出金氧半電晶體 (metal-oxide-semiconductor， MOS)；因為金氧半電晶體比起雙極型電晶體，功率較低、集積度高，製程也比較簡單，因而成為後來大型積體電路的基本元件。

60年代發展出來的平面工藝，可以把越來越多的金氧半元件放在一塊矽晶片上，從1960年的不到十個元件，倍數成長到1980年的十萬個，以及1990年約一千萬個，這個每年加倍的現象稱為莫爾定律 (Moore’s law)，是莫爾(Gordon Moore)在1964年的一次演講中提出的，後來竟成了事實。 超大型积体电路

在1970年代，決定半導體工業發展方向的，有兩個最重要的因素，那就是半導體記憶體 (semiconductor memory) 與微處理機 (micro processor)。在微處理機方面，1968年，諾宜斯和莫爾成立了英代爾 (Intel) 公司，不久，葛洛夫 (Andrew Grove) 也加入了，1969年，一個日本計算機公司比吉康 (Busicom) 和英代爾接觸，希望英代爾生產一系列計算機晶片，但當時任職於英代爾的霍夫 (Macian E. Hoff) 卻設計出一個單一可程式化晶片，1971年11月15日，世界上第一個微處理器4004誕生了，它包括一個四位元的平行加法器、十六個四位元的暫存器、一個儲存器 (accumulator) 與一個下推堆疊 (push-down stack)，共計約二千三百個電晶體；4004與其他唯讀記憶體、移位暫存器與隨機存取記憶體，結合成MCS-4微電腦系統；從此之後，各種集積度更高、功能更強的微處理器開始快速發展，對電子業產生巨大影響。三十年後的今天，英代爾的Pentium III已經包含了一千萬個以上的電晶體。 毫無疑問的，記憶體晶片與微處理器同等的重要，1965年，快捷公司的施密特 (J. D. Schmidt) 使用金氧半技術做成實驗性的隨機存取記憶體。1969年，英代爾公司推出第一個商業性產品，這是一個使用矽閘極、p型通道的256位元隨機存取記憶體。記憶體發展過程中最重要的一步，就是1969年，IBM的迪納 (R. H. Dennard) 發明了只需一個電晶體和一個電容器，就可以儲存一個位元的記憶單元；由於結構簡單，密度又高，現今半導體製程的發展常以動態隨機存取記憶體的容量為指標。大致而言，1970年就有1K的產品；1974年進步到4K (閘極線寬十微米)；1976年16K （五微米）；1979年64K (三微米)；1983年256K （一點五微米）；1986年1M （一點二微米）；1989年4M (零點八微米)；1992年16M (零點五微米)；1995年64M (零點三五微米)；1998年到256M (零點二五微米)，大約每三年進步一個世代，2001年就邁入十億位元大關。

根據國際半導體科技進程 (International Technology Roadmap for Semiconductor) 的推估，西元2014年，最小線寬可達0.035微米，記憶體容量更高達兩億五千六百萬位元，儘管新製程、新技術的開發越形困難，但半導體業在未來十五年內，相信仍會迅速的發展下去。

[下一页]

半导体发展年表

http://www.src.nctu.edu.tw/history/history1.htm

SIA & SEMICONDUCTOR INDUSTRY HISTORY

Note: not all semiconductor industry milestones may be represented below, only a few highlights from each year are noted. SIA-specific highlights are in blue.

[下一页] 1947 1948 1949 Bell Labs Bell Labs grows International Rectifier ships invents transistor single first commercial on December 23. germanium semiconductor devices. First Its first crystal, offering chess-playing machine built by commercial use more uniform Claude Shannon. is in products for electrical the hearing conduction and impaired. fewer defects. 1950 1951 1952 1953 1954 The grown Univac Texas Motorola applies Transistor radio, developed by junction delivers a Instruments (TI) for its first Texas Instruments and sold by transistor computer to enters the semiconductor the IDEA Co. of Ohio, hits the becomes the the census semiconductor related patent to market. first devise bureau. business. develop low cost with enough transistors for TI develops the silicon predictability Motorola audio power junction transistor. Its higher and establishes a stages of radio melting point makes it ideal dependability solid state communication for space and military use. to use in a electronics R&D receivers and range of lab in Phoenix to auto radios. Bell Labs introduces an consumer capitalize on the all-transistor computer. goods. recent inventions of the transistor. IBM unveils the 701, the first computer to store electronic programs. 1955 1956 Bells Labs General introduces Electric photoresist, a introduces technique still first used today to solid-state mass produce silicon batches of switches. identical circuits. 1957 1958 1959 \"Explorer,\" the Cray introduces National Semiconductor opens first U.S. all-transistor in Danbury, Connecticut. orbiting satellite, supercomputer. uses transistor Fairchild Semiconductor’s technology. Texas Robert Noyce commercializes Instruments’ process for making ICs. Fairchild Jack Kilby Semiconductor demonstrates becomes the first first integrated company to circuit (IC). work exclusively with silicon. U.S. Air Force incorporates The semiconductors semiconductor in Minutemen industry Missile design. surpasses $100 The Pentagon million in sales and NASA for the first time. quickly become two of the industry’s major customers. 1960 1961 1962 1963 1964 Digital TI builds the Motorola Corp. Companies Texas Instruments provides the Equipment first integrated introduces the begin shipping first ICs used in a consumer Corp. produces circuit first integrated product, a hearing aid. the first computer. transistorized circuits. mini-computer walkie-talkie IBM unveils the System/360, , known as the Motorola is known as the the first family of computers. PDP-1. the first to use Handi-Talkie the epitaxial HT-200. The semiconductor industry AT&T invents method, surpasses $1 billion in sales for the first developed by the first time. modem. Bell Labs, to mass produce semiconductors. This low-cost technique made the auto alternator a reasonably priced and more durable replacement for the auto generator. 1965 1966 1967 1968 1969 Gordon Moore Hewlett-PackTexas Andy Grove, Apollo mission lands first men predicts ard introduces Instruments Robert Noyce on the moon aided by a variety exponential the first invents handheld and Gordon of semiconductors. growth solid-state calculator. Moore create (biannual oscilloscope. Intel Corp. That Advanced Micro Devices doubling) in Silicon Motorola same year Intel incorporates with $100,000. chip power. It technology introduces the introduces the becomes makes the key Quasar line of first 1k RAM. known as electronics all-transistor \"Moore’s test color TVs. Law.\" instrument lighter and smaller. 1970 1971 1972 1973 1974 Intel Intel invents Hewlett-Packard Price scanner Bell Labs invents and IBM introduces SRAM and introduces the introduced. The uses electron beams in chip DRAM. This EPROM and first scientific UPC symbol production. chip becomes introduces pocket becomes the memory microprocessocalculator. It sent ubiquitous. Zilog introduces the Z-80 component of rs, which slide rule microprocessor. computers and enable the manufacturers Motorola other \"brains\" of a out of business. introduces the Motorola introduces the 6800 electronics, computer to portable cellular microprocessor. and a source of be on one chip radio-telephone, trade strife for the first the precursor to Xerox invents the built-in when the U.S. time. the modem cell mouse. later accuses phone. the Japanese of Shortly after \"dumping,\" a Intel term for introduces the selling 4004, TI products below introduces a market price. single-chip microprocessor. Alan Shugart of IBM invents the floppy disk. 1975 1976 1977 1978 1979 Altair, the first Steve U.S. SIA forms 6 Motorola introduces the 16-bit personal Wozniak and semiconductor major microprocessor. Its computer, goes Steve Jobs company committees on: two-million-calculations-per-son market. found Apple pioneers form trade policy, econd capability is adopted by Computer. Semiconductor education, Apple Computer for its Bill Gates and The first Industry worker safety, Macintosh PCs. Paul Allen word-processiAssociation. trade statistics, launch ng program, investment and Bell Labs introduces a Microsoft. Electric Monolithic capital single-chip digital signal Pencil, is Memories Inc. formation, and a processor that performs speech unveiled. invents field technical compression, filtering, error programmable advisory corrections and other functions logic, the first committee. much faster and better than logic devise that multiple chips. can be Micron opens in programmed by Boise, Idaho as a The semiconductor industry users. semiconductor surpasses $10 billion in sales. design SIA takes over consulting firm. administration of the TI introduces the Semiconductor first single-chip Trade Statistics speech Program (STSP); synthesizer. Its now known as first use: The the World Speak & Spell Semiconductor Toy. Trade Statistics (WSTS). 1980 1981 1982 1983 1984 SIA In response to SIA forms Motorola’s first Chip Protection Act becomes commissions a SIA advocacy Semiconductor cellular phone law, creating the first new form major research efforts, the Research Corp. comes to market. of intellectual property study by Chase U.S. and (SRC) to plan, protection in the United States Financial Japan lower direct and fund AMD introduces since the 19th century. Policy on the semiconductopre-competitive INT. STD. 1000. cost of capital r tariffs to 4.2 silicon research The SIA-supported Trade and in the percent. programs at SIA efforts lead Tariff Act of 1984 becomes semiconductor major to creation of law, authorizing negotiation of industry; Hewlett-Packuniversities. U.S. Japan high tech trade issues and tariff which finds ard introduces Working Group elimination. U.S. firms the first Xilinx invents on High Tech to facing scientific field resolve trade Congress revises antitrust laws significant pocket programmable issues. to allow joint R&D consortia. disadvantages calculator. It gate arrays, compared to sent slide rule chips that can be The SIA Japan IBM develops a one-million their manufacturers customized by Chapter, made bit RAM. international out of the user. up of senior competitors. business. level executives Anti-lock brakes begin using VLSI introduces from SIA microcontrollers. IBM enters the LSI Logic standard cells, member PC business introduces predefined companies doing Apple introduces the with a line of gate array, the circuit elements business in Macintosh computer. desktop PCs, first for custom chips. Japan, is created later to semi-custom to provide and become the chip. industry-to-indussingle largest try dialogue use for SIA helps between microprocessogain approval Japanese and rs. of the federal American R&D tax companies. Motorola credit. introduces first pager to incorporate a microprocessor, allowing longer battery life and the ability to have more pagers on a network. 1985 1986 1987 1988 1989 U.S. and At the urging SIA forms With the SIA’s The SIA and EIAJ establish a Japanese of SIA, U.S. SEMATECH, a encouragement, consumer task force to discuss governments and Japan consortium of the U.S. methods to increase foreign agree to sign chip Congress chip sales to Japanese eliminate agreement to manufacturers approves the consumer equipment makers. tariffs on end dumping dedicated to formation of the semiconductorpractices and improving National SIA commissions a three-year s. SIA files open Japan’s manufacturing Advisory $3.5 million reproductive petition with market; yet technology. Committee on health study to determine if U.S. nine of eleven Semiconductors some chemicals used in chip government, U.S. DRAM At the urging of (NACS). plants cause health problems. citing unfair manufacturers SIA, U.S. Japanese leave market, imposes $300 Reduced Members of the SIA’s Health market and Japan million in trade Instruction Set and Safety Committee and barriers. overtakes U.S. sanctions against Chip (RISC) EIAJ initiate annual meetings as the world’s Japan for failing technology to discuss semiconductor Intel drops out leading to comply with becomes safety and environmental of DRAM semiconductoantidumping available issues. These meetings are the business. r producer. agreement. commercially, precursor to the international allowing faster, ESH conferences, beginning in Japanese U.S. EPROM less 1984. firms lose $4 manufacturers memory-intensivbillion in regain e programming quest for worldwide lead; options. semiconductonext to DRAM, r dominance. EPROMs are After meeting most critical with the SIA, the Compaq commodity Electronic unveils product. Industries 386-based Association of PCs. Japan (EIAJ) forms the Users Bell Labs Committee of introduces Foreign neural Semiconductors network chips (UCOM) in an that mimic the effort to provide way some greater access brain cells for foreign retrieve stored suppliers in the information Japan market. and solve problems. The U.S. semiconductor industry reinforces its commitment to the Japan market by opening an SIA office in Tokyo, Japan. 1990 1991 1992 1993 1994 SIA’s Japan & U.S. SIA’s Through the The SIA succeeds in achieving Technology announce new reproductive efforts led by the Congressional approval of the Strategy trade health study SIA, U.S. Uruguay Round of multilateral Committee is agreement recommends overtakes Japan trade negotiations that created to committing phasing out in worldwide establishes the World Trade track industry Japan to open some chemicals chip sales. Organization (WTO), lowers technology its market to used in semiconductor tariffs, requirements foreign manufacturing IBM and strengthens intellectual and make semiconductochips. Motorola property protection, and recommendatirs and introduce RISC maintains effective ons to the providing a Technology chip for PCs. antidumping provisions. industry. strong experts gather to deterrent to design a 15-year Harris Corp. U.S. Labor Department ranks Panasonic dumping. roadmap for introduces the semiconductor industry as Palmcorder is national Monster Power America’s second safest, introduced SIA is semiconductor ICs (MCT). reflecting a dramatic reduction using LSI presented the research needs; They help in work-related injury and Logic chips. prestigious \"E known as the motorized illness rates among domestic LSI was the Award\" by National products from semiconductor workers. first U.S. U.S. Secretary Technology refrigerators to company to of Commerce Roadmap. jet fighters The semiconductor industry design a chip Robert operate more surpasses $100 billion sales. specifically for Mosbacher for Microsoft efficiently. a Japanese the introduces company’s association’s Windows 3.1. consumer outstanding product. efforts to increase Internet use American tops 100,000. exports. 1995 1996 1997 1998 1999 Foreign share U.S. SIA unveils the SIA creates a 1999 became known as the of Japanese fabrication Focus Center Workforce \"year of recovery\" for the market facility Program. The Strategy semiconductor industry. Sales exceeds 20 growth new consortium Committee to shift the demand from PCs to percent for the explodes as is designed to address the communications products. first time. chips become tackle critical need of increasingly technology an increased and The SIA and member SIA explores prevalent in roadblocks by educated companies lobby extensively the rapidly new consumer focusing on workforce. to achieve the top 1999 growing products. long-term legislative priority with the Chinese High-end research (eight The SIA and its passage of the Y2K bill to market in its chips make years and coalition limit frivolous lawsuits against document, computer beyond). partners American businesses and \"Semiconductonetworking, successfully industries. rs in China: telephone A new edition of lobbies to secure Defining communicatiothe National passage of the The 1st two Focus Centers American ns and Technology \"American become fully operational at Interest.\" internet Roadmap is Competitiveness UC Berkeley and connections released and Workforce Georgia Tech. The SIA and faster and worldwide. Improvement EIAJ jointly smarter. Act of 1998,\" The U.S. and China agreed to announce the The SIA, which nearly the terms of China’s accession Emerging U.S. and working with the doubles the to the WTO. Applications Japan approve U.S. government number of Cooperative new trade and 38 other foreign SIA establishes a presence in Project and agreement on countries, engineers and China by joining other other efforts to semiconductoaccounting for scientists whole electronic associations in the stimulate rs as foreign more than 92 will be eligible U.S. Information Technology major share in Japan percent of the to work for Office in Beijing (USITO). design-ins and approaches 30 global trade and technology other business percent. information companies in the SIA successfully lobbies for an opportunities Agreement technology U.S. R&D tax credit extension for in Japan for calls for the products, creates an additional five years. foreign establishment the Information New SIA study semiconductor of the World Technology shows that the manufacturers. SemiconductoAgreement semiconductor r Council (ITA). The ITA industry is the (WSC). eliminates duties No. 1 driver of on chips, growth for the AT&T spins computers and U.S. economy, off Lucent, telecommunicatiproviding jobs the portion of ons equipment. for 260,000 the telephone people and giant once creating an known as Bell additional 1.4 Labs. millions jobs for people who SIA members provide goods negotiate and services for memorandum the industry. on global warming with U.S. chip U.S. companies Environmentacommand more l Protection than 50 percent Agency. of the global Companies market. agree to continue The SIA and a reducing their coalition of high usage of technology ozone-depleticompanies ng chemicals. successfully lobby to secure the Securities Litigation Uniform Standard Act of 1998, which makes federal court the sole venue for hearing class action suits on securities fraud allegations against companies with rapid fluctuations in stock prices and eliminates frivolous lawsuits in state courts. The WSC receives the 1998 Climate Protection Award from the U.S. Environmental Protection Agency. 2000 2001 2002 2003 In 2000, the China SIA successfully SIA and its technology formally lobbies Congress partners in the roadmap joined the to appropriate High Tech becomes WTO on $10.5 billion for Broadband international terms science and Coalition win a and the 2000 advocated by technology at the major victory International the SIA. Defense when the Federal Roadmap for Department, a 12 Communications SemiconductorTwo percent increase Committee s (ITRS) is additional over the prior decided to released. Focus Centers year, along with deregulate were created: a 2 percent investment in Worldwide \"Materials, increase for the last mile semiconductor Structures and Department of broadband sales exceed Devices\" and Energy’s Science facilities. $200 billion Circuits, Office. for the first Systems and SIA successfully time in Software.\" SIA is lobbies for semiconductor instrumental in Congressional history. The National helping to assure approval of an Science that harmful 11.4 percent The Foundation legislation increase in the semiconductor sees a 8 requiring research budget industry percent expensing of for the National becomes increase in employee stock Science recognized by funding. options or Foundation. the US Bureau minimum of Labor and As a result of holding periods SIA and its ranked 2nd in SIA’s efforts, for executive coalition the nation for China begins stock grants is partners the lowest to provide not enacted. successfully injury and intellectual lobby for illness rate out property SIA scores a legislation of 208 durable protection for major victory in designating goods registered IC streamlining more than $2 manufacturing designs and U.S. export billion over three industries. eliminate its controls when years for tariffs on the President nanotechnology The SIA semiconductoeliminates research and lobbies rs. MTOPS controls development extensively for on commercial programs with passage of export of passage in the Permanent microprocessors. House and Trade approval by the Relations SIA helps secure Senate legislation Congressional Commerce with China in passage of a $25 Committee order to ensure million that China technology talent lowers its expansion tariffs on program that SIA semiconductorhad strongly s, respects advocated. intellectual property SIA embarks on rights, allows Worker Health semiconductor Project to companies to determine and sell directly to further minimize China without any potential using risks to our middlemen, employees. and eliminates investment SIA successfully barriers, advocated among other measures. SIA Board funds a major initiative to increase the number of undergraduate engineers interested in semiconductor careers. SIA establishes a Scientific Advisory Committee (SAC), an independent panel commissioned to review existing industry data to address allegations of cancer risks among semiconductor employees.

Congressional approval of Trade Promotion Authority (TPA). SIA releases the 2002 International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) SIA publishes a commemorative book, Beyond Imagination, chronicling the semiconductor industry since its inception. SIA honors Dr. Gordon Moore with its first-ever Lifetime Achievement Award.