基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法[发明专利]

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专利名称：基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法专利类型：发明专利

发明人：吴飞斌,唐锋,王向朝,李杰,李永申请号：CN201410360070.8申请日：20140725公开号：CN104111120A公开日：20141022

摘要：一种基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法，该方法采用的朗奇剪切干涉仪结构包括光源、聚焦透镜、散射光学元件、一维衍射光栅板、被测光学系统平台、棋盘光栅、二维光电传感器和计算机。在被测光学系统物平面和像平面分别放置一维衍射光栅和棋盘光栅，通过采集相移间隔为π/4的9幅干涉条纹图计算相位，消除朗奇剪切干涉中多级衍射光干涉对相位提取精度的影响。本发明的相位提取方法，消除0级与±1级以外的较高级次衍射项的影响，降低波像差检测中相位提取的系统误差，提高光学系统的波像差检测精度。

申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所

地址：201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱

国籍：CN

代理机构：上海新天专利代理有限公司

代理人：张泽纯

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