一种DI光刻机的LED光学系统[实用新型专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种DI光刻机的LED光学系统专利类型：实用新型专利

发明人：王华,吴中海,陈志特,冯明瑞申请号：CN202021135074.3申请日：20200618公开号：CN212112123U公开日：20201208

摘要：本实用新型公开了一种DI光刻机的LED光学系统，包括近紫外LED发光源模组、聚光镜头、光刻模组和成像镜头；近紫外LED发光源模组包括若干个近紫外LED发光源，每个近紫外LED发光源分别通过一聚光镜头与光刻模组连接，若干个近紫外LED发光源错开排列在光刻模组的两侧；光刻模组包括若干个DMD光刻装置，若干个DMD光刻装置呈直线排列，DMD光刻装置的一端与成像镜头连接，另一端与聚光镜头连接；近紫外LED发光源与DMD光刻装置所在直线与若干个DMD光刻装置所在直线之间的夹角小于90度；近紫外LED发光源内置有若干个近紫外LED发光体。本实用新型解决了目前半导体激光器某些波段功率不足以及小型LED复合光源能量低的问题，且其结构简单，能源消耗低，制造成本低，性能稳定。

申请人：东莞科视自动化科技有限公司

地址：523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)

国籍：CN

代理机构：东莞市中正知识产权事务所(普通合伙)

代理人：成伟

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