专利名称：抗蚀剂添加剂及包含该添加剂的抗蚀剂组合物专利类型：发明专利
发明人：金真湖,尹队卿,赵承德,徐东辙申请号：CN201210570425.7申请日：20121225公开号：CN103186041A公开日：20130703
摘要：本发明公开了一种下式1表示的抗蚀剂添加剂和包含该添加剂的抗蚀剂组合物。该抗蚀剂添加剂改善抗蚀剂膜表面的疏水性以防止在浸没式光刻工艺过程中抗蚀剂膜中的材料在水中被浸出，并且在显影工艺过程中被显影剂剥离以改善抗蚀剂膜表面的亲水性并允许抗蚀剂膜表面具有低的静态接触角，使得可以形成具有优异的敏感度和高分辨率的抗蚀剂膜微图案：式1，在式1中，取代基的定义如说明书中所述。
申请人：锦湖石油化学株式会社
地址：韩国首尔
国籍：KR
代理机构：北京鸿元知识产权代理有限公司
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